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实例介绍

首页 > 实例介绍> 干式蚀刻装置部件

对硅晶圆干式蚀刻工站的蚀刻装置内的部件进行热喷涂。

热喷涂广泛应用于耐等离子腐蚀、对晶圆固定用的静电吸盘上施加电气特性等各种用途。

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